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氮气柜的相关知识点分享
- 分类：行业新闻
- 作者：
- 来源：
- 发布时间：2022-05-31
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氮气柜厂家：晶圆是制造半导体器件的基本原料。非常高纯度的半导体通过拉动晶体、切片等工艺制备成晶体，通过一系列半导体制造工艺形成非常小的电路结构，然后通过切割、包装、测试成芯片，广泛应用于各种电子设备。为了简化运输，尽可能降低被污染的风险，芯片制造商使用晶体盒来运输和储存晶体。
根据GB/T264-2009半导体材料术语，GB/T25915.1-201010洁净室及环境要求，由于晶圆容易氧化，因此对储存环境要求为无氧环境，温度不超过25℃，需要储存在控温控湿设备中。氮气柜采用多种除湿技术，可有效降低柜内湿度，从而达到防潮、防霉、防氧化、防锈、防微吸湿等目的。用于储存晶圆，具有良好的抗氧化作用。目前市面上的氮气柜软件系统具有光电感应、指示灯变色提示、RFID读取等功能，能够实时显示读取的信息显示读取的信息。
除上述功能外，RFID氮气柜系统还可以通过设置设备相关信息，对设备各个环节的历史记录进行全过程追溯。功能如下:
在一定时间内监测不同设备的实时温湿度和变化。
查询历史记录的温湿度。
温湿度处理问题，提高管理效率，自动推送温湿度超标警报。
氮气流量数据的功能可以避免过多的流量，导致热量补充不足，并且可以正确地知道氮气的输出，使氮气流量得到更准确的控制，从而节约成本。
为用户分配不同的权限，设置系统用户信息。
设置生产资料。
设置机台机器人资料。
对机器人AGV信息、Lot信息、操作日志等进行查询。
外部结构：
触摸屏用于发送操作指令，可以实时显示画面内容。
步进电动机控制器控制步进电动机的运动位置和扭力。
用于控制氮气柜门开关状态的步进电机。
限制电动机行程的限位开关。
安全光栅保证人员和设备的安全运行。
内部结构：
用于读取晶圆盒RFID卡号的RFID读卡器。
指示灯显示是否有物料显示当前仓位RFID扫描状态。
检查仓位上是否有晶圆盒。
内部控制：
将RFID读卡器、指示灯、蓝牙、光电开关等硬件集成控制在一起。
多设备串口集线器集成传输。
工业控制主机控制氮气柜的动作、软件监气柜的动作、软件监控，以及与机器人小车的通信。
用于检测氮气流量的氮气流量计。
用户识别工牌读卡器。
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苏州纳冠电子设备有限公司
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